SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。
高亮度肖特基
场发射电子枪
1 nm @ 15 kV
2.5 nm @ 1 kV
1 ~ 1,000,000 x
0.1 kV ~ 30 kV
五轴全自动样品台
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
电子光学系统 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV |
2.5 nm @ 1 kV | ||
放大倍率 | 1 x~1,000,000 x | |
加速电压 | 0.1 kV~30 kV | |
电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
磁场屏蔽 | 被动式磁屏蔽 | |
主动式磁屏蔽(选配) | ||
成像系统 | 探测器 | 镜筒内高角度电子探测器 |
侧向二次电子探测器 | ||
扩展 | 背散射电子探测器 | |
能谱仪(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
电子束感生电流(EBIC) | ||
阴极荧光(CL) | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
样品室 | 真空控制方式 | 全自动控制,无油真空系统 |
摄像头 | 双摄像头 | |
(光学导航 + 样品仓内监控) | ||
样品台配置 | 五轴全自动样品台 | |
行程 | X: 130 mm | |
Y: 105 mm | ||
Z: 40 mm(大行程可选配) | ||
R: 360° | ||
T: -10°~ +90° | ||
减震 | 主副减震支架 | |
双气室隔膜式减震器 | ||
主动式减震器(选配) | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
公司地址:北京市海淀区丰慧中路7号新材料创业大厦8层811
网站由粉体圈设计制作,工商信息已核实