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产品简介

场发射扫描电镜 SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。


产品特点

1、分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

2、电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

3、高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

4、电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

5、水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

6、磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

产品参数

关键参数分辨率1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV
加速电压20 V ～ 30 kV
放大倍率1 ～ 2,500,000 x
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪
样品室真空系统全自动控制，无油真空系统
摄像头双摄像头
（光学导航+样品仓内监控）
行程X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm
T: -10°～ +70°, R: 360°
探测器和扩展标配镜筒内高角度电子探测器
侧向低角度电子探测器
选配平插式中角度背散射电子探测器
STEM自动伸缩式扫描透射探测器
样品交换仓
高速束闸和电子束曝光
EDS能谱仪
EBSD背散射衍射
EBIC电子束感生电流
CL阴极荧光
高低温原位拉伸台
纳米机械手
大图拼接
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

线稿图.png




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